超高纯氦气净化器

产品气流量：1-300Nm3/h

产品纯度：99.9999-99.9999999%

特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理精度高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可达到ppb级净化。

应用范围：航天航空、化学研发、微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。