硅片超声波清洗机清洗设备

⑵ 设备分为两个清洗槽，内槽为酸洗槽，外槽为水洗槽，内外槽均装

 在隔离槽内，与底部和周围隔离。 

⑶ 隔离槽底部倾斜式，*低处设有排水管，隔离槽后设有排气装置。

⑷清洗槽左右两端设有进口纯水喷枪和氮气喷枪。

(5）内设照明装置。

特征：
1.全自动PLC控制，可设触摸屏操作面板。
2.自动，手动互换操作功能，可储存多套工艺程序。
3.温度数字显示控制指示器。
4.故障自动报警及诊断功能。
5.多臂式位移组合机械手。
6.清洗槽四面溢水，高精度循环过滤装置，液位保护控制。
7.全封闭顶部排风系统。
8.步进或伺服电机，气动提送，精准可靠。
9.超声波频率：25KHZ,28KHZ，40KHZ，68KHZ