电光源气体配超纯氙气净化器

气体供应商提供的高纯氙气在输送过程中由于环境的原因，会产生污染,使气体的纯度降低，这对于某些领域是不允许的。

北氧牌高纯氙气终端纯化器采用组合式净化气的工艺路线，净化原理是：原料气首先通过催化反应器，由高效催化氧化剂氧化脱除氢、氧、一氧化碳、甲烷（烃类）等大部分气体杂质，得到高品质氙气。如气体纯度要求达到>99.9999%，则采用复合金属合金净化剂吸收残余的氙气中的微量气体杂质，得到超高纯氙气。

产品气流量：1-300Nm3/h

产品纯度：99.9999-99.9999999%

特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理精度高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可达到ppb级净化。

应用范围：电光源、航天航空、微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、发研。