高纯气体供气工程

高纯气体工程是指集成电路、微电子、光电子、液晶、原子能、制药、血液

制品、生物工程、化学气相沉积、等离子刻蚀、等离子溅射等高科技行业的气体供气需要气体洁净度比较高，需要相关的管道系统配套，包括高纯气体管路、高纯（超纯）气体净化器、高纯气动配件等，洁净的高纯气体管路可解决普通气体管路中因内壁的缺陷和附着的杂质对系统带来的污染问题，较好地保证了高纯（超纯）气体的供气要求。

供气系统配置要求：

运用科学的设计方法及长期实践积累的经验；精密的加工技术、材料复合技术、表面处理技术、完备的工艺方法和检测方法、高纯不锈钢管路，使产品具有良好的耐压、耐真空性能，可靠地应用于低温、高纯、一般腐蚀性介质工作环境，并不断地研制、开发新一代产品以适合现代科学技术的发展。

供气系统配套配件：

提供金属隔膜式调压器、微压调压器、金属隔膜式截止阀、波纹管式截止阀、调节阀、单向阀、球阀、过滤器、VCR、卡套、球型及其他密封形式的管路连接件，各种国家标准和国际标准的气瓶连接，专门制作特殊连接件。可确保使各种标准的设备安全可靠地连接运行。

应用范围：各种化学气相沉积设备用气源。等离子刻蚀设备用气源。等离子溅射设备用气源、电光源、高纯金属生产、半导体产品封装、单晶硅拉制用气源等。