氩气回收循环净化系统

半导体集成电路、单晶硅拉制、化学气相沉积、不锈钢焊接及制造、冶炼，手套箱、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等，需要大量的氩气作为保护气。大规模工业生产单晶硅、手套箱、金属冶炼等需要将超（高）纯氩气充入密闭容器后连续不断地进行循环净化处理。氩气循环净化系统是将排出含有杂质的氩气，经过除尘过滤、压力缓冲、增压、净化等环节。

设备特点：
密闭的容器内提供循环的超（高）纯净化氩气。
    (3)、 强力的真空密封循环系统。
    (4)、 全不锈钢管路连接及高密封不锈钢阀门。
    (5)、 由于高品质的组件保高的可靠性。
    (6)、 可达到的精度为 H2O ﹤证 1PPM ， O2 ﹤ 0.1PPM。
    (7)、 为特殊应用和优化使用而准备的多种可选择配件。
技术参数：

      处理流量：1-1000Nm3/h
     产品回收净化后纯度：≥99.999%