Spin Processor匀胶旋涂仪
MYCRO公司提供美国原装进口匀胶旋涂仪,请您放心选购!
MYCRO美国原装进口的旋涂仪,自1985年开始,我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统,目前客户已遍布全球。
匀胶机有很多种称谓,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机 旋涂仪
自1985 年起,我们向遍布全球的生物化工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案,目前,全*有超过12000套系统正在安全运行。
适用旋涂材料的尺寸范围
WS-650-23 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm 6英寸(150mm)直径圆片或5x5英寸(125mm)边长方片
WS-650-8 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm8英寸(200mm)直径圆片或7x7英寸(175mm)边长方片
WS-650-15 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm12英寸(300mm)直径圆片或9x9英寸(225mm)边长方片
WS-650-X 标配为10 mm 可选配到3mm或5mm可根据用户特殊要求订制设备
可选择三种不同的安装构造:
*流行的Table Top型可自由放置在实验台面上
OND型,带远程控制器可用于手套箱等封闭环境
IND型,带远程控制器可用于WetStation湿法处理环境
高性能马达驱动
旋转控制
Mz型高精度旋涂用马达
转速范围:50~12000RPM (注 50RPM是*小稳定转速)
*大加速度:13000RPM/S;
转速误差:<±0.5RPM @8000RPM NIST标准*;
匀胶均匀性:<1% @6 inch Wafer